斜齿轮行星减速机相比较于直齿轮行星减速机的误差更低，斜齿轮行星减速机内部采用的是斜齿轮，斜齿轮具有更高的传动效率，在传动精度上表现的更好，特别是在大功率行星减速机上，具有更高的扭矩和更稳定的传动，小功率的齿轮减速机也会采用斜齿轮来降低传动误差；斜齿轮能够有效的补偿每个薄片齿轮误差，这个补偿对于轮齿的弹性非常有效，因而得出这样的结果，误差在10mm以内的齿轮都能够使误差起平均作用，从而大幅度减少震动，因而在有负载情况下，能和误差为1mm以内的轮齿那样平稳运行。因为在任何瞬时，大约有一半时间（假定重合度约为1.5）将有两个齿啮合，这就在强度方面带来额外的好处，因此应力可建立在1.5倍齿宽，而不是一个齿宽的基础上。
在装配和制造上采用机电一体化制造和装配一大堆薄片直齿轮是既困难又不经济，因此就制造成连成一体的，轮齿沿螺旋线方向的齿轮，斜齿轮不象直齿轮，它会导致不良的轴向力，但在振动和强度方面带来的好处远胜于由轴向推力和略增的制造成本带来的缺点，因此采用斜齿轮代替直齿轮传动是最佳的选择。
